不論是工業(yè)化生產(chǎn)亦或是人們的生活，全部活動(dòng)機(jī)器都是會(huì)因遭受驅(qū)動(dòng)力而震動(dòng)。震動(dòng)會(huì)傳送到機(jī)器的支撐架并且通過支撐架傳送到機(jī)器自身及其機(jī)器的配件上。震動(dòng)會(huì)導(dǎo)致全部受此影響一個(gè)物體疲憊。與此同時(shí)，震動(dòng)也使得噪聲大大的提升，特別是在是是非非路面安裝震動(dòng)機(jī)器設(shè)備,如裝到樓房里的機(jī)器。而SSB260/20T型投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧超過大多數(shù)別的方式的減震器，能降低99百分比的震動(dòng)疲憊。
被動(dòng)式空氣彈簧一般由制動(dòng)氣室、橡膠彈性隔膜和承重板組成。它是一個(gè)具有內(nèi)部結(jié)構(gòu)的密封容器。使用空氣可以改變抗震目的。被動(dòng)式空氣彈簧的固有頻率相對較低(2).6~5.3Hz)，阻尼系數(shù)(0)相對較高.06~0.08)可以獲得較高的抗震效率。投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧具有剛度變化的特點(diǎn)，因此在地震設(shè)備設(shè)計(jì)中不需要考慮機(jī)械設(shè)備的重點(diǎn)。承載力大，本身總重比較輕。與其它減震器對比，投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧具備品質(zhì)小、舒適度好、耐疲憊、堅(jiān)固耐用等特點(diǎn)，它并且具有避震和消聲功效。這使得其可廣泛運(yùn)用與許多環(huán)境里并充分發(fā)揮關(guān)鍵作用。